PLD系统的适用范围
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1) 高温超导研发-----合成新的高温超导材料或者微调高温超导材料
2) 高温超导工业研发-----高温超导线缆和带沉积,移动通信的微波过滤器,电力分配网的错误电流限制器,超导磁能存储器(SMES),超导量子干涉磁量仪元素制作,超导电子配件,磁共振成像应用,磁悬浮如火车
3) 铁电材料和设备-----使用大面积的PLD 研发
4) 电-光和光学材料-----电镀铬材料,电-光材料如PLZT, BST 等
5) 电介材料---如AlN 薄膜
6) 硬质薄膜----如TiCxN(1-x) 薄膜
7) 透明导电氧化物 (TCO) 沉积
8) 测辐射热敏元素生产商----用于热跟踪的热探测,热成像,激光脉冲沉积设备公司,热度量衡等
9) 制备新材料特别是功能陶瓷
10) 制备纳米粒子
11) 基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)聚合物薄膜
12) 制备用于MRAMs 和录音磁头上GMR 的铁磁材料等
激光脉冲的工作方式
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连续激光:纤绿激光激光泵浦源持续提供能量,长时间地产生激光输出,从而得到连续激光。连续激光的输出功率一般都比较低,适合于要求激光连续工作(如激光通信、激光手术等)的场合。
脉冲激光:脉冲工作方式是指每间隔一定时间才工作一次的方式。脉冲激光器具有较大输出功率,适合于激光打标、切割、测距等。常见的脉冲激光器:固体激光器中的钇铝石榴石(YAG)激光器、红宝石激光器、蓝宝石激光器、钕玻璃激光器等。 还有氮分子激光器、准分子激光器等。
巨脉冲激光:在腔内人为的加入损耗,使其大于工作物质的增益,这时没有激光输出。但在泵浦源持续不断的激励下,激光脉冲沉积设备厂家,激光上能级的原子数越来越多,得到了较大的粒子数反转。如果定义峰值功率为脉冲的能量除以脉冲的持续时间(脉宽),那么,在撤除人为加入的损耗情况下,就会在很短的时间内以极快的速度产生脉冲宽度窄、峰值功率高的脉冲激光,通常称为巨脉冲。
脉冲激光沉积系统(PLD)的特点
PLD系统拥有好的性能价比,具有以下优异的性能:
★主真空室抽气系统前级泵采用无油干泵
★基片加热温度可达1200℃。基片台可360度旋转(转速1-20rpm可调)。
★基片与靶之间方位采用靶在下方,基片在上方,均水平放置。基片与靶间距沿Z轴(即垂直地面方向)可调。各坩埚之间要求相互隔离,不互相污染。
★同一Load Lock系统既可以传递靶又可以传递基片,可两者间切换操作。设备及光学台可联接在一起,始终保持腔体和激光束位置稳定。支撑腿带可调节的转轮,方便在地面整体(包括腔体系统和激光器)同时移动与固定。
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