PLD450型脉冲激光镀膜介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业脉冲激光沉积供应商，脉冲激光沉积装置哪家好，我们为您带来以下信息。

主要用途：　　

用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。
适用于各大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。
　　

系统组成:　　

主要由溅射真空室、旋转靶台、基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。
　　

脉冲激光沉积介绍

脉冲激光沉积系统具有独特的优越性。
它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术（如RF源）集成于一台设备上。
可以生长各种可能的材料。

● 配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长。

● 可与准分子激光和Yag激光相连。

● 在线监控仪器做为可选件，为客户提供高质量的工艺信息反馈。

● 装载室不但可以装取样品，还可以与其他生长设备或分析设备相连。

应用

● 多元素复合氧化物

● 高温超导材料

● 磁性材料、金属材料

● 低蒸汽压材料

● MEMS

期望大家在选购脉冲激光沉积时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。
想要了解更多脉冲激光沉积的相关资讯，欢迎拨打图片上的热线！！！

脉冲激光沉积系统的配置介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司专业生产、销售脉冲激光沉积，我们为您分析该产品的以下信息。

1.靶: 数量6个，大小1-2英寸，脉冲激光沉积装置，被激光照射时可自动旋转，靶的选择可通过步进电机控制;

2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片，大小2英寸，加热温度可达1200摄氏度，温度差<3%，加热时基板可旋转，工作环境的压力可达300mtorr;

3.基板加热电源，高到1200度;

4.超高真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质，脉冲激光沉积装置厂家，内表面电解抛光，本底真空度<5e-8 pa;

5.样品搬运室:不锈钢sus304材质，内表面电解抛光，本底真空度<5e-5 pa;

6.排气系统:分子泵和干式机械泵;

7.阀门: 采用超高真空挡板阀;

8.真空检测:真空计;

9.气路两套: 采用气体流量计控制;

10.薄膜生长监控系统: 采用扫描型差分RHEED;

11.监控系统:基板温度的监控和设定，基板和靶的旋转，靶的更换等;

12.各种电流导入及测温端子;

13.其它各种构造:各种超高真空位移台，脉冲激光沉积装置报价，磁力传输杆，超高真空法兰，超高真空密封垫圈，超高真空用波纹管等;

脉冲激光沉积装置厂家-沈阳鹏程有限公司-脉冲激光沉积装置由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司（www.pengchengzk.com）是一家从事“电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束”的公司。
自成立以来，我们坚持以“诚信为本，稳健经营”的方针，勇于参与市场的良性竞争，使“鹏程真空”品牌拥有良好口碑。
我们坚持“服务为先，用户至上”的原则，使沈阳鹏程在成型设备中赢得了众的客户的信任，树立了良好的企业形象。
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