电子束镀膜机电源柜的操作

1. 总电源

2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮，高真空电子束镀膜机价格，三分钟后延迟 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3. 开高压，高真空电子束镀膜机厂家，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，高真空电子束镀膜机哪家好，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。

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电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

* pocket电子枪

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能

* 自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，便于放片/取片

* PC全自动控制，具有高度的可重复性

* Labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* EMO保护以及完全的安全联锁

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电子束蒸发镀膜机产品介绍

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产品配置：

★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）

★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。

★蒸发腔体：高真空系统。

★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋转，转速可调

★加热：常规加热

★电子枪：E型，带XY偏转扫描

★电子枪坩埚：6穴，17cc

★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制

★清洗功能：可选配离子源清洗

★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤

★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪

★操作模式：全自动 半自动控制

高真空电子束镀膜机-沈阳鹏程真空技术公司由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司（www.pengchengzk.com）为客户提供“电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束”等业务，公司拥有“鹏程真空”等品牌，专注于成型设备等行业。
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