ZF500有机蒸发镀膜机

广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等，半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。

技术指标：

极限真空度4×10-5Pa，系统漏率：1.2×10-7PaL/S； 恢复真空时间：40分钟可达6.0×10 Pa-4

真空室：D形真空室，尺寸350× 400mm

样品台：尺寸为4英寸4平面样品；

有机束源炉：数量：4支，标准型600度控温；

样品架：安装加热炉。
基片的温度从室温至600℃（硅片上表面的温度，只需标定一次即可）

4套挡板系统：动密封手动控制；

样品挡板（1套），磁力拨叉，

膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999? 

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派瑞林镀膜的作用

涂层派瑞林（Parylene），Parylene提供了惰性、生物相容的隔离层，可有效隔离外界的化学品、水分和体液的侵蚀；同时增加了表面的干润滑性，Parylene具有佳的生物相容性，NC材两者均列入FDA及美国药典（USP）第VI级材料；Parylene在以下器件中已获得成功的应用：丁基胶瓶塞，钙钛矿热蒸发镀膜机批发，压力传感器，心脏起博器、假肢、骨钉、电路板、各类导管、斯坦特固定膜、超声换能器、骨骼生长促进器、脑部电极、针头、进饲管、人造耳蜗、导尿管及其金属线、腹窥镜器材等．

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派瑞林镀膜的优势有哪些？

派瑞林膜相对传统的三防材料，具有如下优点：

1)  更好的防潮防水防尘效果，可达IP68的级别

2）抗酸碱和溶剂的腐蚀，耐盐雾（无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀）

3）可靠性强，具有极高的绝缘性能（5um可耐1000V以上直流击穿电压）

4）耐高低温（-200—450℃）

5）气体渗透性低，具有无法比拟的屏障效果

6）能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边、裂缝、SMD器件底部缝隙

7）满足生物相容性，符合FDA（VI）

8）具有优良的干润滑性

9）光学透明，透光率大于95%

10）防蛀防霉，用于历史物品和书籍画卷的保护

11）Parylene不是液体，钙钛矿热蒸发镀膜机厂，涂敷过程中不会形成气泡和桥接式弯月面，且膜层厚度可控，可在1-100um自由选择

12）穿透力强，能在元件内部、底部、周围形成完整，钙钛矿热蒸发镀膜机，厚度均匀的透明膜层，给元件提供一个连续完整的防护膜，从而抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害

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