DZS800型电子束镀膜设备

主要用途：　　

用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。
　　

系统组成:　　

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。
　　

技术指标：　　

极限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢复真空时间：从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系统漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱体前开门，后置抽气系统　　

e型电子枪：阳极电压：10kv(2套)　　坩埚：水冷式坩埚，24穴设计，每个容量11ml　　

功率：0-10KW可调　　电阻蒸发源(可选)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更换20个样品　　

样品台：基片可连续回转，转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离350mm加热温度 400°C±1°C　　

气路系统：质量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制仪：监测膜厚显示范围：0-99μ9999?

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电子束蒸发镀膜机设备性能介绍

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设备性能技术指标：

1、设备极限真空度：5×10-5Pa（电子枪静止状态）。

2、设备总体漏放率：关机12小时后，电子束蒸发镀膜设备报价，真空度≤8Pa。

3、从大气到抽到≤9×10-4Pa，40min(新设备充干燥氮气)，提高了工作效率。

4、真空漏率：≤10-7Pa.l/s

电子束镀膜机部件介绍

镀膜室：

采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。
镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。
在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空专用不锈钢，DZS500型电子束蒸发镀膜设备报价， 厚度≥1 mm），DZS450型电子束蒸发镀膜设备报价，镀膜室及前开门材质：304真空专用不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。

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