电子束镀膜设备介绍

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电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。
与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。
电子束蒸镀可以镀出高纯度高精度的薄膜。

电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？

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设备组成：

设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。

作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，双枪电子束蒸发镀膜机供应，抗腐蚀和耐高温氧化膜。

电子束镀膜原理

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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。
电子枪有直射式、环型和E型之分。
电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，DZS450型电子束蒸发镀膜机供应，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，电子束蒸发镀膜机供应，因而热辐射损失减少，热效率高。
但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。

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沈阳鹏程真空技术有限责任公司（www.pengchengzk.com）为客户提供“电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束”等业务，公司拥有“鹏程真空”等品牌。
专注于成型设备等行业，在辽宁 沈阳 有较高知名度。
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